用于电子行业的创新气动产品

Festo – Partner for the electronics industry

用于电子行业的创新气动产品

更小、更精确、更紧凑、功能更强大...

产品小型化的发展趋势对电子行业中应用的气动产品提出了很高的要求。

 

无论是在轻型装配、半导体行业,还是在电子设备的生产中:为满足这一行业的特殊需要,Festo提供了大量的气缸、阀、控制器和附件,以保证在最小的空间具有最大的功能。

Wafer loading station with Festo technology

半导体行业中的气动产品

前阶段和后阶段

半导体行业中的操作可分为前阶段(薄片加工)和后阶段(测试、装配和包装)。Festo为前阶段提供了大量铝制和不锈钢气缸及多种类型的阀。这些阀可用来控制气缸,也可用来控制气阀门。后阶段的重点在于气动驱动器和阀的小型化。Festo特别设计的小型滑台式驱动器有多种直接安装方式和连接件可供选用,因此具有很高的灵活性。Smart Cubic系列的阀结构紧凑、体积小,可以安装在非常有限的空间里,能满足半导体工业的需求。

保持清洁,非常简单!

尤其是在半导体行业中,许多生产步骤必须在无尘室条件下进行。生产过程越敏感,所采用的生产方法就必须越能保持清洁!

Clean room technology from Festo

通过VDI标准测试

多种因素影响清洁程度

无尘室系统的清洁程度取决于各种因素,例如空气质量、空气流量、表面质量和现场的人员及设备等。

 

以设备为例,系统采用气动驱动器和阀,它们对生产车间的环境会产生很大的影响。针对这个问题,Festo已经专门开发了一系列适用于无尘室技术的产品。这些产品已通过德国VDI 2083 标准的认证,该标准对可在无尘室中使用的设备进行了明确的规定。

Festo 洁净室产品

所有系列的产品均符合ISO 14644-1标准,适用于7级洁净室。
适用于4级洁净室的标准产品供货快,也可根据您的特殊要求提供最高适用于1级洁净室的方案。

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