晶圆生产和前端部分:
重点产品和解决方案

所选产品:

用于晶圆生产

用于前端部分 

 

应用实例:

即可安装的安装板

晶圆生产:安装板

切割晶圆时保证合适的张力

完整集成比例阀、气源处理装置和增压器:该安装板订购方便、即可安装且有完整文献。

 

我们全球的销售和服务网络保证系统有效性高,让您放心。

 

安全控制气体阀

气箱

CVD、平版印刷、蚀刻、离子注入

在这些工序中,安全开关介质阀是至关重要的。

 

阀岛 VTOC 通过所有普通总线系统(Ethercat)实现 2 通道阀驱动,保证安全开关。

轻柔的提升系统

提升系统

无振动地定位 FOUP

由直线电缸 EGC 和伺服电机 EMMS-AS 组成的相互匹配的驱动包可以实现精确定位,避免损害易碎的晶圆。

 

根据要求可提供:用于大型负载、带配重气缸的定制的提升解决方案或用于洁净室的解决方案 

过程可靠的介质分配

介质分配

CMP 技术

抛光晶圆表面的过程中,集成诊断和状态监控功能的阀岛 CPX/MPA 保证较高的过程可靠性和系统有效性。

定制的冷却水分配方案

冷却水分配

即可安装的解决方案

阀岛、角座阀和流量传感器:在 PVD 过程中,定制的冷却水系统保证制造过程平稳运行。

 

根据要求可提供:不锈钢或 PVC 材料的硬管

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