在冲洗前开式晶圆传送盒(FOUP) 时，通过使用阀 VEAD 和 VEFC，可将氮气消耗减少多达 75%。这些解决方案专为惰性气体分配应用而设计，具有高动态、颗粒形成少和长寿命等优点。

作为一项技术创新，Festo 在这些控制阀中使用了压电弯曲片。该技术可通过施加电压实现对阀的无级精确控制。 通过使用高效压电技术还能大幅度降低功耗。总体上可节省高达 18% 的氮气总消耗量，并减少近 1/5 的 CO_₂ 排放量。

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