Showcase the innovative solutions

Gate valve control

Application field:

The load-lock chamber/handling system/process chamber of the coating production line in the semiconductor or opto-electronic industry.

Application highlights:

• Significantly reduce the impact force generated when opening and closing the door valve
• Application achieves control of multiple valves in a single component
• Achieving high repeatability accuracy through a set of digital parameters
• Easy to track, very suitable for industrial IoT

晶圆顶针升降控制方案 Lift Pin Control

应用领域：

针对半导体设备中，用于控制 Lift Pin 的波纹管气缸。

应用亮点：

• 实现气动技术在运行的时间、速度、精度的精准控制与监测
• 达到 wafer 平稳、同步的上下运行，行程时间更稳定，减少机器意外停机
• 将 Lift Pin 调整标准化，取代以往的手动调整，节省维修时间。

气缸同步控制方案 Cylinder synchronization control

应用领域：

半导体晶圆湿式清洗工艺

应用亮点：

• 采用2路定制压电阀VEAC精确控制2个低摩擦气缸同步运动，实现大尺寸晶圆清洗防护碗升降过程中速度和位置连续可调
• 用具有防护功能的电缸给清洗喷嘴提供摆动和平动进给

氮气吹扫系统 N2 Purge

应用领域：

适用于 STOCKER、FOUP、OHT和STB等各种晶圆输送和储存场合等需要微污染防治的半导体晶片先进制程。

应用亮点：

• 可透过流量控制与湿度检测进行精密的控制
• 压电阀设计达到精准的流量控制，每分钟高达 200 公升
• 简化工程设计、调试和操作，整合化模组设计，即装即用的解决方案
• 可将多片MFC整合成阀岛进行设置