创“芯”共赢，智造价值

门阀开关控制方案 Gate valve control

应用领域：

半导体或光电产业之镀膜的生产线过渡腔室 (load-lock chamber) / 移载系统 (handling system) / 制程腔体 (process chamber)。

应用亮点：

• 大幅降低门阀开关时所产生的冲击力
• 应用程式在单一元件中达成多门阀的控制
• 借由数位参数集达成高重复精度
• 易于追踪，非常适用于工业物联网

晶圆顶针升降控制方案 Lift Pin Control

应用领域：

针对半导体设备中，用于控制 Lift Pin 的波纹管气缸。

应用亮点：

• 实现气动技术在运行的时间、速度、精度的精准控制与监测
• 达到 wafer 平稳、同步的上下运行，行程时间更稳定，减少机器意外停机
• 将 Lift Pin 调整标准化，取代以往的手动调整，节省维修时间。

气缸同步控制方案 Cylinder synchronization control

应用领域：

半导体晶圆湿式清洗工艺

应用亮点：

• 采用2路定制压电阀VEAC精确控制2个低摩擦气缸同步运动，实现大尺寸晶圆清洗防护碗升降过程中速度和位置连续可调
• 用具有防护功能的电缸给清洗喷嘴提供摆动和平动进给

N2 Purge

Application field:
Suitable for advanced semiconductor wafer processes that require micro pollution prevention and control in various wafer transportation and storage scenarios such as STOCKER, FOUP, OHT, and STB.

Application highlights:

• Precision control can be achieved through flow control and humidity detection
• The piezoelectric valve design achieves precise flow control, up to 200 liters per minute
• Simplify engineering design, debugging, and operation, integrate module design, and provide an on-demand solution
• Multiple MFCs can be integrated into valve islands for setup