Festo 将携众多半导体行业的创新自动化解决方案和产品亮相 SEMICON China 展览会。助力半导体行业的可持续发展,打开创新思路,创造“芯”价值。 在3月20日~22日展会期间,我们在上海新国际博览中心(浦东)7号馆的E7816展位期待您的莅临。不见不散!
应用领域:
半导体或光电产业之镀膜的生产线过渡腔室 (load-lock chamber) / 移载系统 (handling system) / 制程腔体 (process chamber)。
应用亮点:
应用领域:
针对半导体设备中,用于控制 Lift Pin 的波纹管气缸。
应用亮点:
应用领域:
半导体晶圆湿式清洗工艺
应用亮点:
应用领域:
适用于 STOCKER、FOUP、OHT和STB等各种晶圆输送和储存场合等需要微污染防治的半导体晶片先进制程。
应用亮点: