创新自动化解决方案展示

门阀开关控制方案 Gate valve control

应用领域：

半导体或光电产业之镀膜的生产线过渡腔室 (load-lock chamber) / 移载系统 (handling system) / 制程腔体 (process chamber)。

应用亮点：

• 大幅降低门阀开关时所产生的冲击力
• 应用程式在单一元件中达成多门阀的控制
• 借由数位参数集达成高重复精度
• 易于追踪，非常适用于工业物联网

晶圆顶针升降控制方案 Lift Pin Control

应用领域：

针对半导体设备中，用于控制 Lift Pin 的波纹管气缸。

应用亮点：

• 实现气动技术在运行的时间、速度、精度的精准控制与监测
• 达到 wafer 平稳、同步的上下运行，行程时间更稳定，减少机器意外停机
• 将 Lift Pin 调整标准化，取代以往的手动调整，节省维修时间。

气缸同步控制方案 Cylinder synchronization control

应用领域：

半导体晶圆湿式清洗工艺

应用亮点：

• 采用2路定制压电阀VEAC精确控制2个低摩擦气缸同步运动，实现大尺寸晶圆清洗防护碗升降过程中速度和位置连续可调
• 用具有防护功能的电缸给清洗喷嘴提供摆动和平动进给

氮气吹扫系统 N2 Purge

应用领域：

适用于 STOCKER、FOUP、OHT和STB等各种晶圆输送和储存场合等需要微污染防治的半导体晶片先进制程。

应用亮点：

• 可透过流量控制与湿度检测进行精密的控制
• 压电阀设计达到精准的流量控制，每分钟高达 200 公升
• 简化工程设计、调试和操作，整合化模组设计，即装即用的解决方案
• 可将多片MFC整合成阀岛进行设置