创“芯”共赢,智造价值

Festo 诚邀您莅临2026 SEMICON China,共赴“精准掌控”的“芯”未来

当AI狂飙突进,算力需求指数级增长,芯片制造正面临前所未有的挑战。 在先进制程、系统整合与可持续发展的多重挑战下,真正的核心竞争力,在于谁能实现对制造全流程的“精准掌控”。 Festo,以持续的创新技术,深度赋能半导体智能制造,助力产业可持续发展。 SEMICON China 2026,诚邀您亲临现场,直面技术内核,共同创造“芯”价值。

展会信息

时间:2026年3月 25日-27日

地点:上海新国际博览中心(浦东龙阳路2345号)

Festo 展位:E7馆 7255展位

锁定Festo展位,见证“精准掌控”如何落地,为半导体产业发展注入新动能。

展出的亮点解决方案

液体回吸控制解決方案

  • Festo压电技术实现精密压力控制
  • 智能可调式回吸控制,真正实现零滴落、零污染
  • 数字化
  • 使用寿命长,维护成本低
  • 模块化集成

“非接触式”晶圆翘曲解决方案

  • 灵活适配晶圆不同翘曲场景,提升良率
  • Festo压电技术实现多回路精准压力控制
  • 标准化高性价比方案
  • Festo专利技术

Transfer Valve 门阀开关控制方案

  • 大幅降低门阀开关时的冲击力,运行更平稳
  • 密封件寿命显著延长,减少设备停机时间
  • 设备节拍不降反升,提升整体产能
  • Festo受控气动算法与标准化硬件,快速集成

微米级气动定位控制系统

  • 在提升运动速度的同时,确保定位精准与设备稳定性
  • 支持多种标准气动执行器,灵活适配不同工艺需求
  • 一体化智能气动控制,提供从硬件到算法完整闭环定位控制方案