展会信息

时间：2026年3月 25日-27日

地点：上海新国际博览中心（浦东龙阳路2345号）

Festo 展位：E7馆 7255展位

锁定Festo展位，见证“精准掌控”如何落地，为半导体产业发展注入新动能。

展出的亮点解决方案

液体回吸控制解決方案

• Festo压电技术实现精密压力控制
• 智能可调式回吸控制，真正实现零滴落、零污染
• 数字化
• 使用寿命长，维护成本低
• 模块化集成

“非接触式”晶圆翘曲解决方案

• 灵活适配晶圆不同翘曲场景，提升良率
• Festo压电技术实现多回路精准压力控制
• 标准化高性价比方案
• Festo专利技术

Transfer Valve 门阀开关控制方案

• 大幅降低门阀开关时的冲击力，运行更平稳
• 密封件寿命显著延长，减少设备停机时间
• 设备节拍不降反升，提升整体产能
• Festo受控气动算法与标准化硬件，快速集成

微米级气动定位控制系统

• 在提升运动速度的同时，确保定位精准与设备稳定性
• 支持多种标准气动执行器，灵活适配不同工艺需求
• 一体化智能气动控制，提供从硬件到算法完整闭环定位控制方案