采用卓越的自动化解决方案完善您的半导体生产工艺，在实现稳定流程和超高精度的同时，尽可能降低空间需求。 作为芯片与半导体行业的优秀合作伙伴，Festo 对企业面临的各项挑战了若指掌。 我们为将您提供卓越的标准组件和定制型解决方案，这些产品不但创意十足，而且能够与您的工艺和装置出色契合。 在排放等领域，Festo 能够提供符合相关行业标准的解决方案。
Festo 自动化解决方案不但品质卓越，而且可量身定制；选择 Festo 解决方案，意味着从前道工艺到后道工艺，再到混合键合等 先进封装，都能采用富有竞争力的创新技术。 这些技术能够大程度减少污染，还可确保各项流程可靠运行，长期保持优秀良品率。 得益于其结构设计，通常可以降低能源成本并减少生态足迹。
Festo 自动化解决方案致力于为半导体产业实现稳定产量和高经济效益。 我们的解决方案组件设计巧妙，具有极强的适应性和可扩展性。 您可以随时根据不断变化的生产需求，轻松、快速做出应对。
Festo 自动化解决方案具有以下优势：
Festo 能够提供整套解决方案，不但保证工艺长期稳定，还为实现再现性提供有力保障。 得益于半导体专用密封件和润滑脂，可以最大程度减少漏气，实现所需的工艺步骤。 无论是温度自定义控制、微定位还是原子层沉积 (ALD) 中气相的精确循环控制，我们都能为您量身定制解决方案。
Festo 解决方案支持的应用示例：
Festo 对半导体制造商面临的各种复杂挑战了如指掌，致力于为其量身打造解决方案。 并依托实践积累的丰富专业知识以及遍布全球的支持网络为您提供支持。 Festo 专家随时待命，在改善装置功能、缩短停机时间方面为您提供支持。
Festo 是优秀的自动化合作伙伴：
我们为半导体行业提供的自动化解决方案一贯注重精度、能效、安装空间和灵活性——从目录产品，一直到量身打造能精准按照您的规格说明集成到装置中的解决方案。 除行业标准以外，系统成本效益也是一个重要前提。 Festo 提供核心技术，利用阀岛和传感器对冷却回路进行精确控制，通过创新型压电技术减少氮气消耗，以及使用紧凑型模块化运输系统高效搬运晶圆和芯片等。 此外，Festo Automation Experience (Festo AX) 还采用了 AI 技术，基于数据优化生产流程，达到提高质量和效率的目的。 针对特殊应用，我们提供定制型解决方案，例如升降针控制和化学抛光工艺气体供应等。 这些解决方案不但能为半导体制造商降低生产成本，还可提高装置可用性和产品质量。
Festo 自动化解决方案面向整个半导体行业，各大工厂运营商、生产系统原始设备制造商以及从前道、后道到先进封装等各项工序的工艺工程师都包含在内。 此外，电子和微系统技术领域复杂装置的开发人员和规划人员，也能利用我们的解决方案一展身手。
Festo 自动化解决方案设计用于半导体生产区域的装置、晶圆制造设备和工具，以及 SubFab 流程。 其中包括洁净室中用于气体供应、冷却回路、真空技术和移动解决方案的部件和系统等。 Festo 部件凭借紧凑型阀岛、压电技术和智能传感器，为实现卓越的工艺稳定性和能源效率提供有力保障。 在 SubFab 区域，Festo 自动化系统可以为关键供应流程提供支持，且具有安全、省空间、低维护等优点。 我们将根据您的规格说明量身定制的解决方案，它们与产品目录中的产品——包括畅销全球的产品在内——存在一定区别。
我们在半导体的前道、键合和方面拥有多年丰富经验。 在 Festo 产品组合中，有很大一部分是根据客户需求，与工业领域密切合作开发出的成果。 Festo 客户群囊括了几乎所有知名国际大厂和原始设备制造商。 从晶圆加工到组装，再到包装的每道生产工序，都能在我们历经实际考验的创新产品中找到适用的定制型解决方案。 我们对客户的需求以及所面临的挑战了如指掌，为其量身定制的解决方案能够可靠地满足半导体生产中各个阶段对精度、清洁度和可靠性的严苛要求。
作为半导体行业值得信赖的合作伙伴，Festo 除自动化解决方案以外，还提供工程设计支持、应用咨询以及满足特定生产要求的定制型系统解决方案。 此外还提供状态监测、预测性维护和使用 AI 优化流程等数字化服务， 培训、全球技术支持和备件快速交货等亦在 Festo 的服务范围之内。
半导体行业的客户尤其看重 Festo 提供的洁净室兼容产品，其具有超高的过程安全性和使用寿命。 一旦出现计划外状况，Festo 会采用先进的分析方法，对故障原因进行快速分析，大幅度缩短停机时间。 除此之外，Festo 还实施一整套变更和停产管理体系，使我们能够满足您所在行业的常见要求，比如“ CopyExactly! ”（CopyExact!，简称 CE!）。 Festo 还提供洁净室应用适用的产品，且可根据要求进行双重包装。