在冲洗前开式晶圆传送盒(FOUP) 时，通过使用阀 VEAD 和 VEFC，可将氮气消耗减少多达 75%。这些解决方案专为惰性气体分配应用而设计，具有高动态、颗粒形成少和长寿命等优点。
作为一项技术创新，Festo 在这些控制阀中使用了压电弯曲片。该技术可通过施加电压实现对阀的无级精确控制。压电技术具有诸多优点，如高动态、颗粒形成少和长使用寿命。
通过使用高效压电技术还能大幅度降低功耗。总体上可节省高达 18% 的氮气总消耗量，并减少近 1/5 的 CO₂ 排放量。
观看视频，进一步了解如何在生产中使用这两种产品，来大幅降低能源和氮气消耗。