半导体行业的自动化

应用：控制和调节冷却回路

您面临的挑战：在半导体制造过程中可靠地调节冷却液

Festo 的解决方案：

• 阀岛 VTUG 和 VTOC (1)用于可靠地控制介质的气控阀
• CPX-MPA 型阀岛如果需要额外的 I/O，例如用来控制电控阀、集成传感器或创建闭环控制回路。此阀岛还可用于执行诊断和远程维护功能。
• 气控或电控 阀 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控制介质流量。即使在闭环控制回路中，也能可靠、准确地调节非常冷和/或热的介质。
• 角行程驱动器 DFPD (4)驱动 球阀 VZBF (5)以及通常用于冷却或温度控制介质的主管线和进/出管线的大流量翻板阀。
• SFAW (2) 和 SPAW (6)型传感器非常准确地测量介质流量以及温度和压力。

半导体行业产品

Festo 为制造电子元件的机器提供了广泛的产品组合：具有集成安全功能的阀岛 VTOC 或我们的比例压力阀 VEAA/VEAB（用于对通常控制或调节工艺气体的介质阀进行先导控制）。