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阀岛 VTEP
精度高,动态性能好,适用于小流量的紧凑型多通道压力控制。是电子和半导体、生命科学、纺织、电池生产等众多行业的理想之选。
采用压电技术的比例阀岛
非常紧凑:10 个通道的总宽度不到 120 mm
高度动态且精确的压力和真空控制
非常灵活:可个性化设置控制参数
EtherCAT 数字通信接口
功耗极低
无损耗,无磨损,无排放
静音运行
通过高效控制实现可持续运行
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