阀岛 VTEP

精度高,动态性能好,适用于小流量的紧凑型多通道压力控制。是电子和半导体、生命科学、纺织、电池生产等众多行业的理想之选。
  • 采用压电技术的比例阀岛
  • 非常紧凑:10 个通道的总宽度不到 120 mm
  • 高度动态且精确的压力和真空控制
  • 非常灵活:可个性化设置控制参数
  • EtherCAT 数字通信接口
  • 功耗极低
  • 无损耗,无磨损,无排放
  • 静音运行
  • 通过高效控制实现可持续运行