新款比例阀阀岛 VTEP 是对受控气动产品组合的强大补充。它的亮点在于结构极其紧凑,可在低流量下实现多通道压力控制。最多可同时控制 5 个阀和 10 个工作通道的压力和真空。VTEP 不含铜、镍和锌,是电子和半导体、生命科学、纺织和电池生产等众多行业的明智选择。
高精度控制抛光机上各个抛光腔的可变接触压力,即使在使用 VTEP 控制抛光晶圆时,也能确保出色的抛光效果。
从小型到超大型的幅面控制:在出现意外力的情况下,也能实现稳定的矫直,提高过程安全性。例如,VTEP 适用于电池箔的幅面控制。
VTEP 等阀还可用作介质阀的先导阀。例如,在光刻技术中,必须非常精确地用耐光漆密封晶圆。回吸功能可避免多余的漆液溢出。
借助 VTEP,可利用压力和真空实现贴片夹紧等应用。还有油漆、胶粘剂或用于测试和分析的液体,均可根据特定的配方实现高精度的配给。而这一点,无论是电动自动化还是标准气动系统都无法做到。